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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700

热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700

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北京泰科诺科技有限公司

北京

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面议

品牌:

北京泰科诺

型号:

热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700

关注度:

103

产品介绍

设备名称:热丝 CVD 金刚石膜沉积设备

设备型号:HF700

真空腔室结构:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷

真空腔室尺寸:Φ700mmxH700mm

真空系统:高真空泵组系统

基片台尺寸:350mm²×350mm² 方形基片台(旋转、升降可选)

衬底温度:600 ~ 1100℃

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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700

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