粉体行业在线展览
TRAN-200A型自动导片机
面议
三禾泰达
TRAN-200A型自动导片机
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功能实现(Function)
本机机械手臂可以搬运晶片,也可以通过手臂翻将晶圆上下表面翻转180度,然后依据上游已经测试的数据和工艺要求把来料cassette中的晶片放入相应cassette进行分类。该机可以通过选装模组扩展功能。
使用范围(Scope of Application)
基本型:4in—8in
加强型:12in
工位数量(Number of Cassette)
基本型: 6个
加强型: 3个
搬运速度(Output)
≦200片(基础搬运)
选装(Optional)
OCR识别
Aligner校准器
WMS-208AT型激光非接触式厚度分选机
TMI-A型激光非接触手动测厚仪
LST-208型白光共焦法平面度测试仪
LINT-208G型手动平面度测试仪
LINT-208G自动型WAFER平坦度测试仪
ALC-SI型自动研磨厚度测控仪
ALC-2100型频率自动研磨测控仪
TCS-A型电涡流在线研磨厚度測控仪
ABS-2000型压电石英BLANK频率分选机
LST-200H型半自动共焦平整度测试仪
WS-300AD型晶圆平整度测试仪
MSP-300A型Glass Wafer平整度测试仪
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
FT-391
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
自动划片机
等离子化学气相沉积系统-PECVD
Pentagon Qlll