容器材料：SUS304不锈钢，卡套接口316不锈钢。

净化材料：铜触媒（德国BASF）5公斤,分子筛（美国UOP）5公斤。

净化能力：除氧60L，除水2公斤，系统密闭，泄漏率<0.001%vol/h。

水氧指标：稳定控制<1ppm,极限可达<0.1ppm。

循环系统

工作气体：氮气（N2）/氩气（Ar）/氦气（He），纯度99.999%

循环能力：集成风机流量：90m³/h，可变频调节风量；可提供更大风量风机，风量145m³/h、180m³/h可选。

再生

操作：PLC程序控制，自动完成再生过程。

再生气体：工作气与氢气混合的气体（H2比例5%~10%）

真空泵

规格：抽速8m³/h、12m³/h或16m³/h可选，品牌：英国爱德华、德国莱宝、国产一线品牌等，提供多种配置选择。

阀门

主阀：DN40KF，电磁气动角阀，铝合金或不锈钢阀体。

气路控制阀：电磁阀，Φ10不锈钢管，集成阀座气路控制系统。