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ED-1500D高真空蒸发镀膜设备

ED-1500D高真空蒸发镀膜设备

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泽鸿半导体设备科技(苏州)有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

泽鸿半导体

型号:

ED-1500D高真空蒸发镀膜设备

关注度:

52

产品介绍

设备概述

批次生产型高真空蒸发镀膜设备,用于在基板表面沉积各种金属薄膜(Ti\Ni\Ag\Cr\A|等)满足 2-12inch Wafer 生产需求,适合大批量金属沉积工艺或者 Lift off 工艺。

技术特点

双冷泵配置,快速高效排气,超大腔体设计,大产能优势,低材料消耗,低成本生产。

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ED-1500D高真空蒸发镀膜设备

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