国仪量子电镜在蓝宝石图形化衬底（PSS）形貌分析的应用报告

一、背景介绍

在发光二极管（LED）制造领域，蓝宝石图形化衬底（PSS）技术是提升 LED 光提取效率的关键手段。通过在蓝宝石衬底上制备特定的微观图形结构，能够有效减少光线在衬底内部的全反射，增加光线出射，从而提高 LED 的发光效率。PSS 的形貌，包括图形的形状、尺寸、深度以及表面粗糙度等，对 LED 的光学性能有着直接且重要的影响。例如，合适的图形尺寸和深度可以优化光线的散射和折射路径，而表面粗糙度则会影响光线的漫反射效果。因此，精确分析 PSS 的形貌，对于优化 PSS 设计、改进制备工艺、提升 LED 发光性能至关重要。然而，PSS 的微观图形结构复杂且尺寸微小，传统的检测方法难以全面、准确地获取其形貌信息，急需高分辨率、高灵敏度的分析工具。

二、电镜应用能力

（一）高分辨率形貌成像

国仪量子 SEM3200 电镜具备高分辨率成像能力，能够清晰呈现 PSS 的微观形貌。可以精确观察到 PSS 上各种图形的细节，如图形的边缘清晰度、形状的规整性等。无论是规则的柱状、锥状图形，还是复杂的纳米级图案，都能清晰成像。通过高分辨率成像，能够直观地判断图形是否符合设计要求，为评估 PSS 质量提供了直观依据。

（二）尺寸与深度测量

借助 SEM3200 配套的图像分析软件，能够对 PSS 图形的尺寸和深度进行精确测量。在图像上选取合适的测量点，软件通过算法计算图形的直径、高度等参数。例如，对于柱状图形，可以准确测量其直径和高度，对于沟槽图形，则能测量其宽度和深度。精确的尺寸和深度测量为研究图形结构与 LED 光学性能之间的关系提供了量化数据支持。

（三）表面粗糙度分析

SEM3200 可以对 PSS 的表面粗糙度进行分析。通过对表面微观起伏的观察和数据处理，能够获取表面粗糙度的相关参数。表面粗糙度会影响光线的散射特性，合适的粗糙度有助于提高光提取效率。通过分析不同制备工艺下 PSS 的表面粗糙度，可为优化工艺参数提供参考，以实现理想的表面状态。

三、产品推荐

国仪量子 SEM3200 是 PSS 形貌分析的理想设备。其高分辨率成像功能能够满足对 PSS 微观图形精细观察的需求，为形貌分析提供清晰的图像基础。操作简便，即使是经验不足的研究人员也能快速上手进行测量和分析。设备稳定性好，长时间运行也能保证检测结果的准确性和重复性。此外，SEM3200 的性价比高，能够为 LED 制造企业和科研机构提供经济高效的分析解决方案。选择 SEM3200，有助于深入研究 PSS 形貌对 LED 性能的影响，优化制备工艺，提高 LED 的发光效率，推动 LED 产业的发展。

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