蒸汽压是一种重要的物理性质，它决定了与原始材料处于平衡状态的气相物质的数量。所有物质通过升华(固态-气体)或蒸发(液态-气体)进入气相。材料在热力学平衡时的蒸汽压是材料的一个基本性质，只是温度的函数。 VPA蒸汽压分析仪是区别于动态蒸汽吸附仪的一款原理不同的仪器，它利用的是克努森隙透法测试固体，液体和油的蒸汽压。其原理如下图所示：

这里使用的克努森隙透法是经经济合作与发展组织批准的，并在OECD/OCDE蒸气压指南104中进行了概述。

DVS有两种测试蒸汽压的模式：克努森隙透法和静态法。固体材料一般具有很小的蒸汽压，选择的是克努森隙透法测试蒸汽压。用此种方法测试苯甲酸的蒸汽压如下表，

实验值与文献数据*非常吻合:

Monte et.al  J. Chem. Eng. Data 2006, 51, 757-766,

Kruif et.al. J. Chem. Thermodynamics 1982, 14, 201-206

Colomina et.al. J. Chem. Thermodynatnic. 1982, 14,  779-784.

液体一般具有较高的蒸汽压，测试需选择静态法。测试过程为液体置于溶剂瓶中，在所选温度下稳定1小时。然后使用200sccm的流速排气20分钟，之后关闭蝴蝶阀，测试液体的蒸汽压。 利用上述方法测试，

25℃全氟辛烷的蒸汽压为27.47Torr(3.66kPa);

35℃全氟辛烷蒸汽压为45.27Torr(6.02kPa);

37.8℃环戊烷的蒸汽压为510.83Torr (67.94kPa)。