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CVD 真空化学气相沉积设备
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沈阳威泰科技发展有限公司
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CVD 真空化学气相沉积设备
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CVD 真空化学气相沉积设备详情
CVD设备适用于热丝法化学气相沉积金刚石，采用钨丝/钽丝作为加热器，加热分解碳物质，激活化学气相反应，制备金刚石膜。
安装形式 | 立式 |
加热器分布方式 | 圆周分布 |
加热器材质 | 钨丝/钽丝 |
保温材料 | — |
MAX温度 | 3000℃ |
控温精度 | ±1℃ |
均温性 | ±5℃ |
极限真空度 | 5×10-4Pa |
均温区尺寸 | 按客户要求定制 |
控制方式 | 自动/手动 |
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