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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450

热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450

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北京泰科诺科技有限公司

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品牌：

北京泰科诺

型号：

热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450

关注度：

18

产品介绍

设备名称：热丝 CVD 金刚石膜沉积设备

设备型号：HF450

真空腔室结构：立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷

真空腔室尺寸：Φ450mmxH500mm

真空系统：复合分子泵高真空系统

基片台尺寸：Φ100mm

衬底温度：600 ～ 1100℃

电源：专用热丝电源 400A, 恒流或恒功率模式

气路控制：4 路气体流量控制

控制方式：PLC 触摸屏控制

占地面积：主机 L1200mm×W1060mm×H1900mm

总功率：≥ 20kW


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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450

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