专用设备-大面积平板镀膜设备JCPF3500-北京泰科诺科技有限公司-产品详情

大面积平板镀膜设备JCPF3500

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品牌：

北京泰科诺

型号：

大面积平板镀膜设备JCPF3500

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产品介绍

设备名称：大面积平板镀膜设备

设备型号：JCPF1600~4500

真空系统：国产或进口分子泵 / 低温泵 + 罗茨泵 + 机械泵高真空系统

极限真空：优于 2.0×10-4Pa

抽速：从大气到 3.3×10-3Pa ≤ 30min 升压率关机 12 小时后真空度≤ 10Pa

工件架尺寸：可根据尺寸定制

工件烘烤温度：室温～ 300℃，可调可控（PID 控温）

配置：矩形磁控靶、弧源、离子源、偏压可选

系统：全自动控制系统，个性化的 Tech-Coating 控制菜单，安全保护系统

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大面积平板镀膜设备JCPF3500

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