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晶圆真空传输平台—VTM
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合肥致真精密设备有限公司
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致真精密
晶圆真空传输平台—VTM
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晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计，可以实现多个工艺室的互联，系统可选配机械臂和校准装置，可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。
性能参数
晶圆尺寸 | 8或12吋 |
| 极限真空 | 优于5×10-7mbar |
| 前端模块 | 可选EFEM等 |
| 对接口 | 四个，六个，八个（可实现多套互联） |
| 机械臂 | 可选单臂和双臂，定位精度±0.1mm |
| 校准装置 | 对准器，校准传感器 |
| 真空系统 | 机械泵+分子泵，可选离子泵等 |
| 控制系统 | PC+PLC 安全互锁，碰撞保护,真空互锁等 |
| 标准 | SEMI |
观察窗挡板
倾斜式高温样品台
蒸发源
圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）
两个镀膜系统直接互联设备
超高真空管道传输设备
晶圆真空传输平台—VTM
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