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两个镀膜系统直接互联设备
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合肥致真精密设备有限公司
安徽
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致真精密
两个镀膜系统直接互联设备
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致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联，适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连，成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连，通过选配进样室可以实现超高真空过渡，减少对镀膜系统的污染。
观察窗挡板
倾斜式高温样品台
蒸发源
圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）
两个镀膜系统直接互联设备
超高真空管道传输设备
晶圆真空传输平台—VTM
量产型磁控溅射设备—MSI-200
生产型磁控溅射设备—MSI-100-UHV
生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV
量产级多功能薄膜沉积设备
分子束外延设备—MBE-400
