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MDPlinescan在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
产品型号:
供应商报价:面议
产地:德国
发布时间:2023-08-07
所属分类:首页 > 分析仪器设备频道 > 半导体行业专用仪器专场 > MDPlinescan在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
  • 产品简介
  • 应用行业
  • 典型用户

产品介绍▼

l 各种不同的样品,从单晶硅到多晶硅,从生长的晶片到加工过的晶片,都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。

l MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。

l 样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。

l 该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源即可。例如,电池生产线上的来料质量检查是*常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。

特性▼

l 允许单片调查

l 配方的基础测量

l 监控材料质量、工艺的完整性和稳定性

优势▼

l μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。

l 用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备,和各种工艺处理阶段。

l 小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。

技术参数▼

样品种类

多晶或单晶晶元片, 晶锭,晶胞

样品尺寸

大约50 x 50 mm2

电阻率

0.2 - 103 Ohm cm

电导类型

p, n

材质

硅晶圆,部分或完全加工晶圆,化合物半导体等

测量属性

载流子的少子寿命

硬件接口

ethernet

大小

174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg

电源

24 V DC, 2 A

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