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AR激光切割设备（全自动）
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深圳市圭华智能科技有限公司
广东
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圭华智能
AR激光切割设备（全自动）
200
应用领域
本设备主要实现激光精密切割、裂片, 加工材料涵括SI、SiC、InP、GaAs、GaN、蓝宝石衬底晶圆、玻璃晶圆、蓝宝石玻璃镜片等各种玻璃。
设备特点
该设备具备热稳定高精度、适配多规格加工、定位精准、洁净环保的特点:
设备参数
序号 | 项 目 | 技术参数 |
1 | 精度 | 重复定位精度≤±2μm，定位精度≤±3μm @25℃±1℃ |
2 | 切割/裂片范围 | 4”~12”晶圆 |
3 | 切割裂片速度 | 50-200mm/s |
4 | 崩边效果 | ≤10um |
5 | 切割/裂片厚度 | 玻璃: 0.2~2.2mm |
6 | 机器控制系统软件 | LASER STUDIO，集成视觉、激光和运动 |
7 | 电力需求 | 380V/50Hz/10KVA |
8 | 设备总重 | 3300Kg |
