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石墨烯LPCVD
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青岛华旗科技有限公司
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235
水平LPCVD是高质量大批量大尺寸石墨烯CVD法生长专用设备，多种工艺气体、生长压力、工艺温度、工艺过程计算机全自动控制。该设备亦可其他大衬底LPCVD法成膜沉积工艺
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