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TaC涂层托盘

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湖南兴晟新材料科技有限公司

湖南

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面议

品牌:

兴晟新材

型号:

TaC涂层托盘

关注度:

192

产品介绍

核心作用

  1. 隔绝石墨基体,不释放碳污染

  2. 完全不与 Si 蒸气反应(SiC 长晶*关键)

  3. 耐高温、抗冲刷、寿命比纯石墨高 5–20 倍

  4. 温场更均匀,晶体 / 晶圆良率大幅提升


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