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Solid Sic盘、环

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湖南兴晟新材料科技有限公司

湖南

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品牌:

兴晟新材

型号:

Solid Sic盘、环

关注度:

233

产品介绍

Solid SiC(整体固相碳化硅)盘 / 环,区别于 “石墨 + SiC 涂层” 的复合件,是纯 SiC 整体结构,尤其在半导体 ICP 刻蚀、SiC 外延、MOCVD 等强等离子 / 高温工况中是核心耐蚀承载 / 聚焦部件。

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