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M-CVD-1200-I-S单温区微型CVD系统管式炉

M-CVD-1200-I-S

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安徽科幂机械科技有限公司

安徽

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

科幂

型号:

M-CVD-1200-I-S

关注度:

2544

范围(量程或细度):

气路工作温度5~45℃

产品介绍

单温区微型CVD系统


产品型号: KM-CVD-1200-I-S

所属分类:单温区微型CVD系统

M-CVD-1200-I-S单温区微型CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。

1、双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C;

2、高纯状氧化铝纤维绝缘层,**限度节约能源;

3、炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命;

 

项目
型号
KM-CVD-1200-I-S
炉管尺寸Φ60×1000mm (Φ30/50/80/100mm可选)
**温度1150℃
工作温度1100℃
推荐升温速率≤10℃/min
加热区长度440mm
功率3KW
电压单相AC220V, 50Hz
温控系统K型热电偶
集成式触摸屏控制
控温精度±1 ℃
密封系统炉管两端配有快开式密封法兰
外形尺寸620mm(L) ×420mm(W) × 580mm(H)
气体量程100~1000SCCM
气路数量2~4路(MFC)
气路工作温度5~45℃
VRD-8**承载量:1000Lbs;抽气速率:10m³/h;
极限真空度:10-1Pa
真空度双极旋片机械泵:极限10^-1Pa
分子泵机组:极限10^-3 Pa



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M-CVD-1200-I-S

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