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SCG400系列半导体级单晶硅炉
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南京晶升装备股份有限公司
江苏
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南京晶升
SCG400系列半导体级单晶硅炉
510
◆ 设备具有大尺寸、高抽速的真空设计；
◆ 配备先进的液面距测量、宽幅炉压精确控制、氧化物处理等系统；
◆ 生长晶体可满足12英寸重掺硅片、12-18英寸硅单晶耗材指标的要求。
集成电路刻蚀用硅材料长晶炉MSIR1050系列
氮化铝原料提纯炉ANET920系列
碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列
蓝宝石单晶炉SET300系列
蓝宝石单晶炉SET280系列
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HTRH，HTRV
略
驰顺TF-1200型旋转管式炉
开启式管式炉
RLY系列燃油热风炉
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
RLY 系列
ZHK-B02123K-200
OTF-1200X-25-60
略
YCVD-1706
