厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）：380 V±10%
频率（Frequency）：50/60 Hz
加热功率(Heating Power）：165 KW底部加热50 kW
环境温度（Ambient Temperature）：5～40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端**水温(Maximum Inlet Temperature)：77°F (25 ℃)      
*小流量（Minimum Flow Rate）：50 gpm (185 L/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi （2.1 kg/cm²）
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹扫流量(Purge Flow)：100 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力Recommended Supply Pressure：75 psi(5.3 kg/cm²）
压缩空气（Air）
推荐压力Recommended Supply Pressure：90 psi(6.3 kg/cm²)