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小型超高真空退火炉
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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
辽宁
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沈阳科学仪器
小型超高真空退火炉
846
小型超高真空退火炉
真空室结构:
退火室为立式双层水冷真空室，进样室为卧式结构
真空室尺寸:
φ350mm
极限真空度:
≤6.67E-7Pa
沉积源:
无
样品尺寸，温度:
φ4英寸，1片，**1600℃
占地面积（长x宽x高）:
约3米x1.1米x2米
电控描述:
手动
工艺:
不含工艺
产品概述：
由退火腔，样品库，进样室，加热器，真空系统组成。可实现在10-5帕超高真空状态下对工件退火1600℃
设备用途：
主要用于各类工件的退火;表面淬火件回火;焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。
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