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立式炉管设备
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上海至纯系统集成有限公司
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上海至纯
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主要应用于6寸、8寸以及12寸半导体晶圆厂扩散以及低压化学气相沉积工艺。有夹片式机械手臂传送速度快,有数字式表头易于查看,人机操作界面友好,工艺稳定的特点。具有我司自主研发知识产权,交货货期短的优势。
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