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LPE(液相法)长晶炉

LPE(液相法)长晶炉 LPE900

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丰港化学材料科技(张家港)有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

丰港化学

型号:

LPE(液相法)长晶炉 LPE900

关注度:

97

产品介绍

LPE(液相法)生长碳化硅具有晶体缺陷少、生长效率高、生长温度低、节能、降低电耗等优点,可生长p型碳化硅晶体。

产品特点

可以生长超过6英寸的晶体

正压设计,腔体压力可达180 kPa,减少溶液挥发

腔体内壁抛光处理,减少附着力,实现高真空

两级设计,方便保持腔内清洁

更精准的控压技术,长晶工艺压力波动<5Pa

双加热系统设计可在解决方案内提供更均匀的温度场

籽晶轴、坩埚轴冷却水流量可精确控制,温度场更稳定

具有籽晶旋转升降、坩埚旋转、加热线圈升降功能

籽晶旋转和坩埚旋转模式可编程,方便技术开发

独特的工艺气体引入设计,使工艺气体可以直接传递到种子的背面

高精度传动部件,重复定位偏差<10μm

自主开发的控制系统,丰富的公式编辑界面,操作权限分级,可远程控制

技术参数

腔室内部尺寸Φ900×1200mm主加热圈功率100kW热场**直径520mm**温度2200℃籽晶提取速度处理速度:0.01-0.5mm/h

快速移动速度:6-300mm/min籽晶旋转1-100rpm,旋转模式可编程坩埚转速1-100rpm,旋转模式可编程卷材升降速度处理速度:0.01-5mm/h

快速移动速度:6-300mm/min电源接口3P 380VAC,112kVA

3P 380VAC,24kVA

3P 380VAC,15kVA气源Ar、He、N2,压力>0.2MPa

压缩空气、压力0.4-0.6MPa冷却水压力0.3-0.5MPa

流量200L/min尺寸1800×1500×4400mm(不包括坩埚拆卸绞车和平台)

4080×3050×4400mm(包括坩埚拆卸绞盘和平台)重量4000kg


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LPE(液相法)长晶炉

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