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化学气相沉积炉设备
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沈阳默森科技有限公司
辽宁
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默森科技
化学气相沉积炉设备
626
主要技术指标：
参数/型号 | CVD600-CVD5000 |
工作区尺寸 | 按客户需求定制 |
安装形式 | 立式 |
加热器分布方式 | 圆周 |
加热器材质 | 石墨 |
| 保温材料 | 含锆硅酸铝模块砖 |
**温度（℃） | 1100 |
温度均匀性（℃） | ±7.5 |
极限真空度（Pa) | 50Pa |
工作真空度（Pa） | 200Pa |
压升率（Pa/h） | 10 |
工作压力（**压力MPa） | 0.12 |
| 工艺气氛 | CH3/N2 |
配置选择：
炉门 | 铰链回转式/吊装式；手动锁紧 |
马弗罐 | C-C复合材料 |
炉壳 | 碳钢 |
冷却速度 | 随炉冷却/快速冷却 |
气路控制 | 体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产 |
真空泵和真空计 | 进口/国产 |
操作面板 | 触摸屏/工控机 |
| PLC | 欧姆龙/西门子 |
控温仪表 | 岛电/欧陆 |
| 热电偶 | K分度号 |
| 电器元件 | 施耐德/西门子 |
| 其它安装形式 |
