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盛美半导体设备（上海）股份有限公司

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槽式湿法清洗设备

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产品规格型号

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面议

品牌：

盛美半导体

型号：

槽式湿法清洗设备

关注度：

590

产品介绍

主要优势

小尺寸，高产能

先进的IPA干燥方式

工序可灵活编辑

无盒式（No-Cassette）50片晶圆批次处理

节能减排，降低成本

特征规格

配备先进的IPA干燥槽

配备稳定的晶圆传输系统

模块化设计，可客制化组合选配

可选配一体式清洗模块（多种化学药水与纯水在同一槽中进行工艺）

可选配兆声波清洗

关键应用

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槽式湿法清洗设备

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