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8/12寸石英管(硅片加热)清洗机

8/12寸石英管(硅片加热)清洗机

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声达半导体设备(江苏)有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

江苏声达

型号:

8/12寸石英管(硅片加热)清洗机

关注度:

105

产品介绍

适用工件:
(Applicable parts)
1-1.7米,8寸,12寸石英管(用于硅片加热)兼容和石英部件
1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts
批量产能:
(Capacity)
根据客户需求/Customerized
工艺流程:
(Procedure  flow)
人工上料→炉管旋转,药液循环清洗→药液排放至储酸槽→纯水清洗→氮气吹干→人工下料
Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload
主要材料:
(Major material)
金属骨架SUS304,槽体采用PPN或PVDF
(Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF)
运送方式:
(Transportation)
手动传送
(Manual)
节拍时间:
(Step  time)
依工艺可调
(Based on process,Adjustable)
工艺效果:
(Process effect)
清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube)
其他说明:设备可以根据客户要求定制手动/半自动
(Customized:Semiautomatic or manual)
适用工件:
(Applicable parts)
1-1.7米,8寸,12寸石英管(用于硅片加热)兼容和石英部件
1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts
批量产能:
(Capacity)
根据客户需求/Customerized
工艺流程:
(Procedure  flow)
人工上料→炉管旋转,药液循环清洗→药液排放至储酸槽→纯水清洗→氮气吹干→人工下料
Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload
主要材料:
(Major material)
金属骨架SUS304,槽体采用PPN或PVDF
(Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF)
运送方式:
(Transportation)
手动传送
(Manual)
节拍时间:
(Step  time)
依工艺可调
(Based on process,Adjustable)
工艺效果:
(Process effect)
清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube)
其他说明:设备可以根据客户要求定制手动/半自动
(Customized:Semiautomatic or manual)
适用工件:
(Applicable parts)
1-1.7米,8寸,12寸石英管(用于硅片加热)兼容和石英部件
1-1.7 m length,8”,12”Quartz tube(use for Slicon wafer heating)&Quartz parts
批量产能:
(Capacity)
根据客户需求/Customerized
工艺流程:
(Procedure  flow)
人工上料→炉管旋转,药液循环清洗→药液排放至储酸槽→纯水清洗→氮气吹干→人工下料
Manual Load→Quartz tube rotation,chemicals recycling clean→Chemicals Drain to tank of acid storage→DIW clean→N2 Dry→Manual Unload
主要材料:
(Major material)
金属骨架SUS304,槽体采用PPN或PVDF
(Metal frame SUS 304,the tank uses PPN or PVDF)
运送方式:
(Transportation)
手动传送
(Manual)
节拍时间:
(Step  time)
依工艺可调
(Based on process,Adjustable)
工艺效果:
(Process effect)
清除石英管件上的污染物/Remove contaminant on the surface of Quartz parts or Tube)
其他说明:设备可以根据客户要求定制手动/半自动
(Customized:Semiautomatic or manual)


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