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研磨后清洗机

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声达半导体设备(江苏)有限公司

江苏

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参考报价:

面议

品牌:

江苏声达

型号:

研磨后清洗机

关注度:

230

产品介绍

适用工件:
(Applicable parts)
6"*1花篮,8"*1 pc花篮
6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette
批量产能:
(Capacity)
1 batch/10min
工艺流程:
(Procedure flow)
上料(手动)→超声碱性槽→HQDR槽→下料(手动)
Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload  (Manual)
主要材料:
(Major material)
金属骨架SUS304+PP乳白板,槽体采用PPN/SUS316
(Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316)
运送方式:
(Transportation)
手动传送
(Manual)
节拍时间:
(Step time)
依工艺可调
(Based on process,Adjustable)
工艺效果:
(Process effect)
清除晶圆片表面的残余抛光液和大颗粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer)
 其他说明:
(Others)
设备可以根据客户要求定制手动/半自动
(Customized:Semiautomatic or manual)
适用工件:
(Applicable parts)
6"*1花篮,8"*1 pc花篮
6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette
批量产能:
(Capacity)
1 batch/10min
工艺流程:
(Procedure flow)
上料(手动)→超声碱性槽→HQDR槽→下料(手动)
Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload  (Manual)
主要材料:
(Major material)
金属骨架SUS304+PP乳白板,槽体采用PPN/SUS316
(Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316)
运送方式:
(Transportation)
手动传送
(Manual)
节拍时间:
(Step time)
依工艺可调
(Based on process,Adjustable)
工艺效果:
(Process effect)
清除晶圆片表面的残余抛光液和大颗粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer)
 其他说明:
(Others)
设备可以根据客户要求定制手动/半自动
(Customized:Semiautomatic or manual)


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