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Slurry 供液系统
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声达半导体设备（江苏）有限公司
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Slurry 供液系统
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| 适用工件(Applicable parts) | 抛光液/Chemist,Polishing |
| 批量产能：(Capacity) | 10L/min |
| 工艺流程： (Procedure flow) | 混液→供液→ 回收→供液 Mixing→Supplying→Recycling→Supplying |
| 主要材料： (Major material) | 金属骨架+PP壳板，泵体采用PVDF气动隔膜泵，管路 采用PFA管路-Metal frame+PP shell plate,PVDF pneumatic pump,PFA pipe routine |
| 其他说明：(Others) | PH平衡、恒温控制-PH equilibrium,thermostatical control |
