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VIC-D210气体流量控制器/流量计
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博思飞尔（上海）仪器科技有限公司
上海
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博思飞尔
VIC-D210气体流量控制器/流量计
1440
| 型号 | **满量程（N2标准） | *小满量程（N2标准） |
|---|---|---|
| VIC-D210 | 1.5SLM | 5SCCM |
| VIC-D220 | 50 SLM | 1.5 SLM |
| VIC-D230 | 100 SLM | 50 SLM |
| VIC-D240 | 200 SLM | 100 SLM |
| VIC-D245 | 400 SLM | 200 SLM |
| 流量精度 | ≤ ±1% F.S |
| 重复性 | ±0.2% F.S |
| 控制范围 | 2%~100% F.S |
| 响应时间 | ≤ 1.0 sec (10 ~ 100%) |
| 工作温度 | 0~50 ℃ |
| 线性 | 满量程的≤ ± 0.2% |
| 预热时间 | 15分钟 (准确度保证：30分钟) |
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