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BASIS系列OEM气体流量控制器

BASIS系列OEM气体流量控制器

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博思飞尔(上海)仪器科技有限公司

上海

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品牌:

博思飞尔

型号:

BASIS系列OEM气体流量控制器

关注度:

142

产品介绍

产品简介


对于大数额订单,BASIS系列OEM气体质量流量控制器,能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。

  • 可靠-BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像**天一样。

  • 灵敏-您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业内**的控制速度和阀门调节,能带给用户的益处将远远超出预期。

  • 兼容-BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。


性能指标


精度± 1.5 %R.D and ± 0.5 %F.S

重复度

 ± 0.5 % R.D

控制范围1–100% F.S ( 0 -100SCCM ) ;0.5–100% F.S ( 0 -1000SCCM;0-20SLM;0-50SLM ) 
响应时间优于100 ms
工作温度

0–50°C

预热时间

70 ms

                                

电气参数

模拟通讯                  

4–20 mA, 0–5 VDC,

数字通讯

RS-232; RS-485 ;Modbus RTU协议

电       源 10 - 30 VDC  200 mA


机械参数


阀门类型常闭
阀体材质不锈钢
密封材质FKM


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