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MCS 系列耐腐蚀气体流量控制器

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博思飞尔（上海）仪器科技有限公司

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品牌：

博思飞尔

型号：

MCS 系列耐腐蚀气体流量控制器

关注度：

135

产品介绍

产品简介

MCS 系列耐腐蚀气体质量流量控制器可快速达到设定值并保持对 128 多种气体（包括 32 种腐蚀性气体）的质量流量、体积流量或压力的稳定控制。

腐蚀性气体兼容 - 与32 种纯腐蚀性气体和大多数制冷剂气体兼容的接液材料。
用途广泛且准确 - 对128 种以上的气体和 20 种自定义混合物进行实时控制，具有 NIST 可追溯精度至 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）。
快速控制，多变量数据 - 通电后的毫秒响应时间，以您选择的工程单位控制质量流量、体积流量或压力，并显示瞬时流量、压力和温度读数。
易于集成 - 定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。

精度	± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S
重复度	± 0.2 %F.S
控制范围	1–100% F.S
控制响应时间	（T63）用户可调：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :30-4000ms；50 SLM-5000 SLM：30-150ms
显示响应时间	用户可调：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :<10ms；50 SLM-5000 SLM：65-255ms
温度精度	±0.75°C
工作温度	−10–60°C
压力精度	±0.5%R.D
预热时间	<1 s

模拟通讯	4–20 mA, 0–5 VDC, 1–5 VDC, 0–10 VDC
数字通讯	RS-232； RS-485 ；Modbus RTU (over RS-232 or RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus
电气接口	6 pin locking, 8 pin mini-DIN, 8 pin M12, DB-9, DB-15
电源	12 - 30 VDC ； 250 mA，1 A，2 A额外加 40 mA（ 4-20 mA ）

阀门类型	常闭
密封材质	316L、303、和430FR不锈钢、FFKM（标准）可根据特殊气体选用FKM或EPDM，R阀门增加410不锈钢

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MCS 系列耐腐蚀气体流量控制器

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