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光刻胶
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无锡中慧芯科技有限公司
江苏
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无锡中慧芯
光刻胶
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中慧芯提供多种类型及规格的光刻胶：
| 类型 | 光刻胶型号 | 厚度/um | 分辨率 | 适用工艺 |
| AZ系列 | AZ5214,AZ4620,AZ6130等 | 1-30um | 1um | 可用于深硅刻蚀 |
| PI | LTC9000系列 | 4-50um | 4um | 用于非铜衬底工艺，固化温度*低可以达到250C° |
| 电子束胶 | HSQ Fox-15/16 | 100nm | 350nm-810nm | 分辨率**的光刻胶，抗刻蚀 |
| Lift-off光刻胶 | LOR/PMGI-SF系列 | 50nm-6um | 高分辨率，双层lift-off的底层胶 | |
