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主动隔振系统（电子显微镜、半导体设备专用）
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上海良允科学仪器有限公司
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主动隔振系统（电子显微镜、半导体设备专用）
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αL4X-911R1的基本原理和功能
利用加速度传感器检测地板的振动，通过6自由度的反馈及前馈控制的双重主动控制，由气动和线性马达执行器来实现振动衰减，消除影响电子显微镜正常工作的安装场地的细微振动，满足电子显微镜厂商提供的允许振动值。
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