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桌面型双靶磁控溅射镀膜仪不锈钢腔体

桌面型双靶磁控溅射镀膜仪不锈钢腔体

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郑州成越科学仪器有限公司

河南

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

成 越

型号:

桌面型双靶磁控溅射镀膜仪不锈钢腔体

关注度:

24

产品介绍

简单介绍:

本设备为双靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备

详情介绍:

本设备为双靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。 本套配置采用高真空不锈钢腔体,腔体设置带挡板的石英观察窗,便于实验的观察记录;腔体设计真空性能优良,造型小巧,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。

应用领域:

本设备为双靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备

技术参数:

产品名称

桌面型不锈钢腔体双靶磁控溅射镀膜仪

产品型号

CY-MSZ254-II-DC-SS

样品台

外形尺寸

φ100mm

可调转速

≦20rpm

磁控靶枪

配两支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm

真空腔体

腔体尺寸

φ254mm X 300mm

观察窗口

前置式

腔体材料

304不锈钢

开启方式

上盖开启及前开门

真空系统

前级泵

双极旋片泵

分子泵

大抽速涡轮分子泵

真空测量

复合真空计,量程:10-5~105Pa

抽气接口

ISO63

排气接口

KF16

系统真空

1.0×10-4Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

抽气速率

前级泵抽速1.1L/s 

输出功率

直流电源500W

其他参数

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

2kW

整机尺寸

710*480*580


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桌面型双靶磁控溅射镀膜仪不锈钢腔体

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