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SMART磁控溅射薄膜沉积系统
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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
辽宁
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沈阳科学仪器
SMART磁控溅射薄膜沉积系统
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产品概述：
本沉积系统可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等，工艺性能稳定、模块化结构，采用行业**的软件控制系统。
高真空钎焊炉设备--QHL550
小型超高真空退火炉
大型高真空退火炉
碳化硅晶体生长炉
导模法蓝宝石晶体生长炉
泡生法蓝宝石晶体生长炉
双侧无油涡旋泵
涡旋干式真空泵
螺杆干式真空泵JLG-1100A
罗茨干式真空泵GH-80A
金属有机源气相沉积系统--MOCVD
高真空硬碳膜制备系统--FHL600
TEM 热、电、气、液、冷冻样品杆
合金分析仪
SHM1000
其他
NAI-ZLY-4/6C
CX-100
EMC-1
HMYX-2000
GPZT-JH10/4W
NJ-80型
X-300 X-FLUXER® 三位全自动熔片仪
NVT-HG型 单晶生长炉
