专用设备-高真空电子束蒸发薄膜沉积系统--EB900-中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司-产品详情

高真空电子束蒸发薄膜沉积系统--EB900

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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

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品牌：

沈阳科学仪器

型号：

高真空电子束蒸发薄膜沉积系统--EB900

关注度：

538

产品介绍

产品概述：
系统主要由蒸发室、主抽过渡管路、旋转基片架、光加热系统、电子枪及电源、石英晶体振荡膜厚监控仪、工作气路、抽气系统、控制系统、安装机台等部分组成，体现立方整体外观，适用于超净间间壁隔离安装，操作面板一端处在相对要求较高超净环境，其余部分（含低温泵抽系统）处在相对要求较低超净环境。

设备用途：
本系统配有一套电子枪及电源，可满足在Al，Ni，Ag，Pt，Pd，Mo,Cr和Ti等多种金属和介质膜基片上均匀沉积多层膜的需要。

获取更多信息，请访中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司网站

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高真空电子束蒸发薄膜沉积系统--EB900

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