研磨机-200mm硅片研磨设备-浙江芯晖装备技术有限公司-产品详情

200mm硅片研磨设备

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浙江芯晖装备技术有限公司

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品牌：

芯晖装备

型号：

200mm硅片研磨设备

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产品介绍

基本规格	尺寸： 2.8 米（长）x1.2 米（宽）x2.2 （高）重量：4.5 吨
设备构成	研削主轴（2sets）清洗干燥单元背面清洗单元搬送单元（Robot）
**加工尺寸	φ 200mm
加工方式	干进，干出

基本规格	尺寸： 2.8 米（长）x1.2 米（宽）x2.2 （高）重量：4.5 吨
设备构成	研削主轴（2sets）清洗干燥单元背面清洗单元搬送单元（Robot）
**加工尺寸	φ 200mm
加工方式	干进，干出
加工能力	同时高效加工2 片
生产能力	≥ 30 wafers /hr

基本规格	尺寸： 2.8 米（长）x1.2 米（宽）x2.2 （高）重量：4.5 吨
设备构成	研削主轴（2sets）清洗干燥单元背面清洗单元搬送单元（Robot）
**加工尺寸	φ 200mm
加工方式	干进，干出
加工能力	同时高效加工2 片
生产能力	≥ 30 wafers /hr

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