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晶圆隐裂外观检测设备(ADS)

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产品规格型号
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面议

品牌：

芯晖装备

型号：

晶圆隐裂外观检测设备(ADS)

关注度：

31

产品介绍

产品型号

  • 晶圆隐裂外观检测设备-ADS

应用场景

  • 成型、抛光

检测缺陷

  • 隐裂、崩边、划伤、线痕、化学脏污

检测精度

  • 隐裂：30μm、正反面：20um；

产能

  • 185 WPH@300mm

产品特点

  • 隐裂检、高产能、低过检、ADC

晶圆种类

  • Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制）






















适用于成型、抛光工艺段，应用明场及红外检测原理进行无图形晶圆的正反面及内部无法肉眼观测的隐裂缺陷检测，具备崩边、划伤、线痕、化学脏污、隐裂等微小缺陷的检出能力

获取更多信息，请访浙江芯晖装备技术有限公司 网站

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晶圆隐裂外观检测设备(ADS)

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