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晶圆隐裂外观边缘检测设备-ADSE

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浙江芯晖装备技术有限公司

浙江

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面议

品牌:

芯晖装备

型号:

晶圆隐裂外观边缘检测设备-ADSE

关注度:

58

产品介绍

应用场景

成型、抛光

检测缺陷

隐裂、崩边、划伤、线痕、化学脏污、边缘缺陷

检测精度

正反面:20um;隐裂:30μm;边缘:1.25μm

产能

160 WPH@300mm

产品特点

隐裂检、高产能、边缘检、低过检、ADC

晶圆种类

Ф6″、Ф8″、Ф


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晶圆隐裂外观边缘检测设备-ADSE

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