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SVT 阀控沉积源可精确控制高蒸汽压材料的束流。其独特地阀门设计，使该源具有很好的工艺重复性以及束流反应即时性。驱动阀门可选，可实现自动工艺控制。
阀控沉积源与束流分流口相连，可以在很大面积的衬底上沉积。分流口光阑可以调节束流形状，是太阳能电池以及OLED沉积工艺的**选择。分流口可与衬底非常接近，因此提高了沉积速率。
增加热激发区域可选，此区域可以提高多原子大分子的活性。热激发的分子降低了材料消耗，提高了材料质量以及S和Se的结合力。
针阀设计可以精确控制高蒸汽压材料的束流
热激发部件可选，可提高材料结合力
可客户定制分流口
源容量大，适于长期生长
是太阳能电池和OLED应用领域的**选择
型 号 | 容 量 | 兼容的材料 |
SVTA-VC-200 | 200cc | As，Sb，Se， Te，S |
SVTA-VC-500 | 500cc | As，Sb，Se， Te，S |
SVTA-VC-15000 | 15，000cc | Se， Te，S |
SVTA-VC-30000 | 30，000cc | Se， Te，S |
馈入法兰 | 4.5’’(DN63)CF 法兰(其它尺寸可选) |
**体蒸发温度 | 450 oC，500 oC除气 |
分流口**温度 | 700 oC，900 oC除气 |
源温度稳定性 | +/- 0.1 oC |
热偶类型 | K型 |
电接插件 | 大气下的灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型 |
烘烤温度 | 200oC |
束流稳定性 | <1%，带有集成束流传感器 |
**操作环境压强 | 1X10-4Torr |
沉积均一性 | +/-6%(源与衬底距离300mm) +/-4%(源与衬底距离200mm) |
加热时间 | 400 oC< 60min |
冷却时间 | 100oC <120分钟 |
