等离子清洗机实际上是一个表面处理系统，配置的兼容性非常重要，要想工作稳定，每一个零部件的运行都不能出任何差错。尤其是对于UPH要求很高的工厂，一旦出现故障，又不能够及时排除，损失会非常大！我们今天根据多年的研发、生产及维护经验，整理出真空等离子清洗机常见的故障报警及处理方法。

　　1.等离子清洗机真空泵热过载保护，请检查线路和真空泵故障

　　①出现此情况请首先观察系统参数设置有无变化，突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警。

　　②如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动保护，请检查电气线路有无断路或短路情况。

　　③检查导线是否有断路或短路情况。

　　④如无上述异常，请检查真空泵。

　　2.等离子清洗机三相供电相序异常，请更换相序

　　①有相序保护继电器，如出现此类报警，请更换相序。

　　3.一路供气压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽

　　4.二路供气压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽

　　3及4是气路控制系统报警，出现此报警请先检查气体是否打开或耗尽。如气体没有问题，请检查设备减压表、气路电磁阀及流量计是否正常工作。检查电气线路是否出现断路或短路。

　　5.放空气体压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽

　　如出现此类报警，请检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或短路。