长度约6.8米氮气纯化手套箱设备

l  设备组成：包括不限于手套箱主体、可拆卸带手套的可视安全玻璃视窗、过渡舱、氮气循环净化系统、真空系统、PLC控制显示操作系统、储物支架等

2.手套箱主体规格

l  手套箱主体尺寸规格：长度约6.8米(实际长度以量测为准)；宽度约1米(实际宽度以手套箱内部设备尺寸位置)，高度不能不超过2米；与真空腔室对接的手套箱尺寸长度约1.3米；

主体材质： 不锈钢；

l  安全观察窗：配合操作，需要搭配多个安全观察窗，安全观察窗材质钢化玻璃；

l  安全观察窗手套接口规格：数量以方便操作为主，接口需润滑性好、易于维护、密封性能好；

l  手套材质：丁基橡胶；数量以实际需求为主；

l  照明系统：为便于工作，手套箱内需有照明系统；

l  电源接口：为便于后期使用，手套箱内需预留电源接口；

l  压力计：实时监控手套箱内压力；

l  储物架：普通位置至少2层的搁置物品的支架，材质不锈钢；储物架可拆卸，不需要的手套箱可以拆卸掉；另外，在连接G13前端的位置处要有8个可以暂放基板框架的储存架，储存架长宽约35cm*35cm；(细节需要讨论)

l  预留KF40标准接口：每个工位预留不少于3个；

l  设备颜色：油漆部分不能有脱落、污渍；

l  不锈钢支架：带便于推动的万向轮，有调节水平的脚座；

l  备件：5双备用手套；

l  过渡仓规格：按照实际需求，设计大小过渡仓，过渡舱带压力表、进出气接口等；过渡舱与手套箱焊接必须密封；

l  对接规格：(如示意图)

a.手套箱需要与前端G11设备的loadlock-1进行对接，此处我方无图纸，需要手套箱厂商根据实物自行设计图纸并完成对接方案；LL-1处已有手套箱，手套箱内有3台设备，旧手套箱拆除后，内部3台设备需要保留，保留的设备要放入新手套箱内，届时中标的新手套箱厂商要负责3台设备的移入和对接(如管路、线路、信号等)；

b.手套箱需要与后端G13设备的loadlock-3进行对接，此处我方有图纸，需要手套箱厂商根据实物和图纸完成对接方案；另，LL-3处有传送基板的滚轮，手套箱厂商需要根据LL-3的需求，预留按照滚轮的位置和空间；

c.手套箱中间部位需要外接真空设备的loadlock-2，手套箱厂商需要配合真空设备的法兰或闸阀完成对接方案；

d.手套箱前后对接的G11设备和G13设备已经固定，手套箱厂商需要根据实际状况自行设计方案，在不移动设备的前提下完成设备对接；真空设备目前采购中，会从示意图loadlock-2位置进行对接，手套箱厂商要配合真空设备完成loadlock-2的对接；

e.手套箱的主要责任区域为如下图中的黄色标识区域。