扫描电镜能谱技巧分享|4种方法提高扫描电镜能谱的准确性
能谱(EDS)结合扫描电镜使用,能进行材料微区元素种类与含量的分析。其工作原理是:各种元素具有自己的 X 射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量 E,能谱仪就是利用不同元素 X 射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
能谱定量分析的准确性与样品的制样过程,样品的导电性,元素的含量以及元素的原子序数有关。因此,在定量分析的过程中既有一些原理上的误差(数据库及标准),我们无法消除,也有一些人为因素产生的误差(操作方法),这些因素都会导致能谱定量不准确。
飞纳能谱面扫
01 根据衬度变化判断元素的富集程度
利用能谱分析能够根据衬度变化判断元素在不同位置的富集程度。
如图 1,我们获得了材料的背散射图像以及能谱面扫 Si 的分布图,其中 Si 含量为20.38%。在背散射图及面扫图中,可以看到不同区域衬度不同,这是不同区域 Si 含量不同造成的。我们选取了点 2-7,其点扫结果 Si 含量分别为 19.26%、36.37%、18.06%、1.54%、20.17%、35.57%。
这种通过衬度判断元素含量的方法在合金(通过含量进而推断合金中含有金相的种类,不同的金相含有的某种元素有固定的含量区间),地质(通过含量判断矿石等的种类)等行业有广泛的应用。
图1. 左图为材料背散射图及能谱点扫位置,右图为能谱面扫 Si 含量的分布
02 判断微量元素的分布
利用能谱,可以寻找极微量元素在材料中分布的具体位置,先通过面扫进行微量元素分布位置的判断,然后通过点扫确定。
如下图,左边为背散射图像,右边分别对应 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P,它们的含量如表 1,通过能谱面扫描分析得到各元素含量,其中 P 的含量为 0.09%。
图2. 材料的背散射图及 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P 元素的分布
表1. 图 2 中 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P 元素含量
工程师对样品进行点扫确认,位置 7 是面扫结果P元素富集区,其各元素分布如表 2,这个位置的P含量高达 14.56%,局部含量比整体含量高 160 倍。
图3. 背散射图像及样品点扫位置
表2. 样品点扫位置 7 各元素的含量
飞纳台式扫描电镜获得高质量面扫结果的原因
1. 灯丝亮度决定能谱信号的强度,飞纳电镜采用 CeB6 灯丝,具有高亮度,可以获得高强度的能谱信号。
2. 采用新型 SDD 窗口材料 Si3N4,提高了穿透率,透过率由 30% 提高到 60%。比传统聚合物超薄窗透过率提高 35% 以上。
3. 采用 Cube 技术提高响应速度(计数率)并降低了噪音(分辨率提高),是国际上处理速度最高的能谱系统,解决了计数率与分辨率的冲突。
如图 4 所示,飞纳电镜能谱一体机可以获得更高计数率与更高分辨率的能谱结果。
图4. 飞纳能谱结果
飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 不需要液氮、制冷速度快、信号强度大、分辨率高、体积和重量小,真空密封性高,可以使用更少的能量获得更低的温度。尺寸更为紧凑,适用于不同环境需求。
小技巧 - 如何提高能谱的准确性
能谱使用前要校准
保证样品平整
保证分析区域均质、无污染
保证样品导电性、导热性良好
613
- 1无卤低烟阻燃材料中炭黑含量检测结果异常情况的分析
- 2GB 36246-2018中小学合成材料面层运动场地全文
- 3ASTM-D638-2003--中文版-塑料拉伸性能测定方法
- 4GBT 15065-2009 电线电缆用黑色聚乙烯塑料
- 5GB_T2951.41-2008电缆和光缆绝缘和护套材料通用试验方法
- 6GBT 13021-2023 聚烯烃管材和管件 炭黑含量的测定 煅烧和热解法
- 7PEG熔融相变温度测试
- 8聚碳酸酯(PC) DSC测试玻璃化转变温度
- EVA型热熔胶书刊装订强度检测与质量控制研究
- 自动热压机的发展趋势是怎样的?
- 用户论文集 ▏化学吸附 ▏铱-铼共沉积乙醇处理后SiO2载体催化剂应用在甘油氢解反应
- 为什么近期单壁碳纳米角(CNH)的研究进展值得关注?
- 为什么介孔SiO2在药物递送领域的应用越来越多?
- FRITSCH飞驰球磨——不锈钢介导的水中球磨条件下定量H2生成实验研究
- 为什么MoS2在催化领域的研究进展值得关注?
- 飞纳台式扫描电镜助力纳米纤维在心血管组织再生中的研究
- 磷酸化修饰鬼臼果多糖的制备及生物活性
- DSR论文解读:Advanced Science News 报道中科院长春应化所新型非铂催化材料研究成果
- High-throughput preparation, scale up and solidification of andrographolide nanosuspension using hummer acoustic resonance technology(纳米混悬剂制备的前瞻性技术 - 蜂鸟声共振)
- 扫描电镜优秀论文赏析|飞纳台式扫描电镜电极材料上的应用
- 扫描电镜论文赏析-干旱影响杨树叶片及次生木质部发育的分子机制
- 压实度与密实度的区别
- 振实密度和压实密度的关系
- 勃姆石专用气流粉碎机分级机打散机