氧化铈抛光液 MYH-COPST 产品详情

MYH-COPST 是 MYHMICRO（铭衍海）出品的纳米氧化铈水性抛光液，专为光学玻璃、半导体、显示面板、汽车玻璃等硬脆材料超精密平坦化设计，核心优势为高去除速率、高选择比、低损伤、易清洗、稳定性强。

一、产品参数

基础理化参数

· 产品型号：MYH-COPST

· 品牌：MYHMICRO

· CAS 号：1306-38-3（CeO₂）

· 外观：粉红色液体

包装规格：1KG/桶，

· 产地：江苏・常州

· 安全性：非危险品、水性环保、无腐蚀

· 去除速率（MRR）：对 SiO₂/ 石英玻璃＞500 nm/min（标准工艺）

· 表面粗糙度（Ra）：≤0.1–0.5 nm（精抛后，AFM 测量）

· 表面缺陷：零可见划痕、低亚表面损伤

· 清洗性：水性易冲洗、无残留

二、产品特点

1. 高效化学机械协同抛光

采用 CMP 化学机械协同原理，CeO₂与 SiO₂表面形成 Ce-O-Si 桥键软化表层，配合纳米颗粒精准微磨削，实现高切削力 + 低损伤，抛光效率远优于纯机械研磨。

2. 高选择性与高平坦度

对硅基材料（SiO₂、石英、玻璃）去除极快，对 Si、Si₃N₄、金属去除速率极低，选择比＞200:1，适配半导体 STI、ILD 等高选择比场景；抛光后表面无橘皮、无麻点、平面度极佳。

3. 优质颗粒与稳定分散

选用高纯度球形纳米 CeO₂，粒径分布窄、无大颗粒杂质，减少划痕风险；专用分散剂确保长期均匀悬浮、不沉降、不团聚，无需频繁搅拌，工艺稳定性高。

铭衍海（常州）微电子可根据客户需求，提供定制化服务

源头工厂可定制粒径、固含量、pH、粘度，精准匹配不同场景；切削寿命长、耗材成本低，实现进口抛光液国产替代，性价比优势显著。

三、应用领域

1. 光学玻璃与晶体

· 光学元件：镜头、棱镜、滤光片、K9 玻璃、硼硅玻璃、熔融石英

· 晶体材料：YAG、钛蓝宝石、石英晶体、蓝宝石（衬底 / 窗口）

· 光纤 / 连接器：端面抛光、低损耗

2. 半导体与微电子

· 晶圆平坦化：STI 浅槽隔离、ILD 层间介质、3D NAND

· 光掩模 / 光刻板：石英掩模无损伤精抛

· 化合物半导体：SiC、GaN、蓝宝石衬底

3. 显示与触控面板

· LCD/OLED 玻璃基板、TFT 面板

· 手机 / 平板盖板玻璃、触控屏：去划痕、高光泽

4. 汽车与工业玻璃

· 汽车挡风玻璃：去划痕、去油膜、修复

· 建筑 / 幕墙玻璃、仪表玻璃、光学视窗

5. 精密陶瓷与硬脆材料

· 结构陶瓷、透明陶瓷、精密轴承、切割刀片

四、使用建议

1. 稀释：原液使用或去离子水 1:1–1:3 稀释，搅拌均匀。

2. 抛光垫：推荐聚氨酯垫或麂皮垫（精抛）。

3. 工艺参数：压力 0.1–0.3 MPa，转速 800–1500 rpm。

4. 后处理：抛后立即清水冲洗，必要时搭配中性清洗剂。

5. 储存：密封、避光、常温（5–35℃）储存，避免高温与阳光直射。

五、注意事项

· 操作时佩戴手套、防护眼镜，避免直接接触皮肤与眼睛；不慎接触立即用大量清水冲洗 15 分钟以上，必要时就医。

· 禁止与强酸、强碱、易燃易爆物品混合存放，防止化学反应。

· 开封后少量分层，搅拌均匀即可正常使用，不影响性能。

· 保质期 6 个月（密封常温储存），过期按环保标准妥善处理。

· 车间保持良好通风，使用时勿进食、吸烟，避免儿童接触。

· 废弃抛光液勿直接排放，需符合当地环保标准处理。