PVA泡沫的内部都是高连通开孔结构（开孔率达到85~95%），具备极强的亲水能力，与普通硬质塑料泡沫的疏水、闭孔为主的特性完全不同。因此，其兼顾“洗刷能力+低颗粒/低损伤+流体输送能力”的多重优势，是清洁刷/辊材料的最优选择。

工业级/高端精密清洗，是整个PVA泡沫的主要利润核心，特别是CMP（化学机械清洗）对清洁刷辊的无尘、低离子析出、耐清洗液、批次一致性等各项指标要求极高，是日韩进口品牌清洁刷辊长期盘踞的主要市场。

进入CMP清洗刷/辊高利润的市场，首先要保证PVA材料符合市场需求，在材料制孔环节就精准控制符合需要的开孔率，且确保产品的批间一致性。

PVA泡沫的开孔率怎么测？

对于硬质泡沫塑料的开孔和闭孔体积百分率测定，目前有明确的国家标准GB/T 10799-2008可依。该标准现行有效，2024年复审结论为“继续有效”，适用于由聚合物隔膜或孔壁分割成许多小泡孔的泡沫塑料，泡孔类型可以是开孔、闭孔或复合型。

那么，除了硬质泡沫塑料，多孔PVA能不能测开孔率？

典型PVA泡沫清洗刷/辊物理形态及其特性

PVA泡沫与硬质泡沫在结构和形态上有本质差异：硬质泡沫通常为规则块状样品，而CMP清洗刷用PVA泡沫是中空轴筒套结构、干燥态、表面带凸起的不规则样品，常规硬质泡沫标准方法难以直接套用。

这正是我们在用AccuPyc真密度仪验证的问题！

PVA泡沫作为清洗刷应用于化学机械抛光（CMP）工艺中，在晶圆表面去除污染物、清除微小颗粒，并提升表面平整度。这类泡沫具有相互连通的开孔结构，无明显死端，通常为88–92%总孔隙率。低于约85%通常吸液/输运偏弱，高于约95%往往要牺牲湿强、耐磨和寿命。半导体级PVA刷孔径约70-120 μm。

两种PVA泡沫清洁刷辊的CMP应用示意图

征集样品：CMP用PVA清洁刷开孔率

真密度仪测定方法开发

使用AccuPyc Ⅲ 1350真密度仪，单台仪器实现干燥态PVA泡沫（不规则结构）的开孔率测量，为CMP清洗刷材料评价提供数据支持。

PVA泡沫AccuPyc真密度仪测试结果

气体比重瓶法真密度仪

AccuPyc Ⅲ 1350

AccuPyc 真密度仪采用比重法精准测量材料真实骨架密度，符合ASTM D6226、ISO 4590、GB/T10799 等标准密度法测量硬质泡沫总孔隙率。PVA泡沫干态属于硬质多孔材料，具体测试方法需要考虑测试PVA样品的形状、切割、干燥等问题。

如果您正在做PVA泡沫材料、CMP清洗刷/辊、半导体清洗耗材、晶圆清洗应用或泡沫材料检测，欢迎联系400- 630-6902联系密度仪应用专家送样检测，共同开发适用于您产品的检测方案。此外，如您有硬质泡沫类似测试意向或方法开发需求，也欢迎马尔文帕纳科密度仪应用专家联系沟通讨论。