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单面CMP抛光机

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深圳市梦启半导体装备有限公司

广东

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面议

品牌:

梦启半导体

型号:

单面CMP抛光机

关注度:

68

产品介绍


参数名称单位DL-855/4P-CMP
主电源V三相 380
主电机功率KW15
主电机转速RPM0~85
上盘驱动电机转速RPM0~70
抛光盘尺寸mm855
加工尺寸2-8
工作工位4
工件盘尺寸
mmΦ305x15
单工位压力Kg20~300
抛光液流速L/min15(可调)
主盘温度检测±5
设备尺寸(W x D x H)mm1200x1650x2250
设备重量Kg约2450


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