干式螺杆真空泵的泵腔被相互啮合的主、从动转子分隔成几段不相连的空腔，根据作用的不同，分为吸气腔3、运送腔4与排气腔5。

干式等螺距螺杆真空泵工作时，随着主动转子1、从动转子2啮合转动，使吸气腔3空间不断变大，从而从泵体顶部的进气口不断吸入气体;当主、从动转子转过一定角度后，吸气腔3体积达到**并目与泵进气口隔断，此空腔就转变成运送腔4，并重新形成新的吸气腔3:随着转子的继续

转动，运送腔4内的气体等体积向排气端移动，实际工作中，由于排气端气体返流的作用，运送腔4内的气体压力不断升高;当转子转过一定角度，运送腔4与排气通道相通，排气通道内的气体剧烈返冲至空腔内，造成腔内的气体压力升高、温度升高，并带来气流噪声，此空腔就转变成排气腔5;随着转子的继续转动，排气腔5的体积开始逐渐变小，气体被不断地排出。

干式变螺距螺杆真空泵的吸气过程与等螺距螺杆真空泵完全一样;在气体运送过程中，由于转子螺距的不断变小，相应的运送腔空间变小，压力升高，排气端高温高压气体饭流量减少，气体返流传热量降低，使泵进气口侧温升降低;当运送腔与排气口接通时，由于排气腔的空间远小于等螺距，返冲的气体量少，产生的候声低;同时从排气腔气体被压缩产生的热量随之远小干等螅距，从而使泵工作温升低于等螺距螺杆真空泵;同时排气时所需排出泵腔的气体的量少，使得排气时所需消耗的能量远小于等螺距，因此变螺距螺杆泵具有更好地的节能效果。

干式螋杆真空泵泵腔内无油润滑，可获得洁净真空:泵工作腔及螺旅转子表面有防腐涂层，可适应恶劣的工况;泵用于防爆场合时，泵需采用防爆配置。气体在螺杆真空泵泵腔内始终处于匀速直线运动状态，并且泵腔直通，无中隔板结构，因此固体粉尘与冷凝液不易在泵腔内沉积。必要时通过侧面掺气口向泵腔内充气，形成吹扫气流，加强清除泵腔内的固体粉尘与冷凝液。

工作原理