干式真空机组是由爪型干式真空泵和罗茨真空泵串联而成，结合了两种泵的优点，结构紧凑，运行可靠。 在爪泵抽到0.09MPa以下，再启动罗茨真空泵，罗茨真空泵在此压力范围内可发挥较大抽速能力，并可提高压力 .
　　干式真空机组用于：真空蒸馏、分子蒸馏、真空干燥等抽富含酒精、汽油、水蒸汽、毒气、腐蚀性气体等特殊工作环境。
　　真空机组安装调试的注意事项：
　　（1）正确使用真空机组，熟练地掌握真空机组操作规程；
　　（2）正确使用真空计，掌握其操作规程，若用热偶真空计，注意热偶不要烧坏；若用麦氏真空计，注意水银液面缓缓上升；
　　（3）运行时，禁止修理、清洗真空机组，以及给运动部件上螺钉；
　　（4）真空泵启动前，需检查供水、供油、润滑是否正常；
　　（5）运动部件要有防护措施，以防其飞出来；
　　（6）车间应配有灭火器、砂箱等灭火器具。
　　干式真空机组工作原理：
　　当电机开始工作时，电机通过电机齿轮传递给介轮，再由介轮传递给主动齿轮带动同步从动齿轮做同步反方向运转，主动轴、从动轴便带动一 级转子、二级转子、三级转子、四级转子进行连续吸排气做功，被抽气体通过进气口，进入进气口通道，在一 级转子对的压缩下，一 级泵腔内的气体通过一 级排气道，进入二 级泵腔，二、三、四级泵腔内的气体做同样的运动，经四级排气道进入冷凝缓冲区，液体流向排液道，通过液体收集口可直接回收，残存气体通过消声器，排气口排出泵外，从而起到抽真空以及气液分离的作用。