在需要无油泵时，滚轴泵可替代旋片泵。XDS 泵的抽速为 5、10 和 35 m3/hr，是采用了新式的轴承护罩，将真空环境与润滑剂隔离开，使之不仅干燥， 而且保护轴承免受任何制程气体的影响。蒸汽处理通过可调气囊实现；这使该系列的泵能够应用于以前许多不能采用其他滚轴泵的应用场合。

XDS100B 是滚轴增压泵，具备针对高抽速用途的泵送机械装置。与增压泵一样，它需要与主泵一同使用，适合与 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滚轴泵搭配。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时，XDS100B 针对大抽速进行了优化，因此适合吞吐量的 LCMS 应用。的泵设计使得末端密封磨损消失，也就减少了维修干预，尽可能延长正常运行时间。

变换器驱动允许泵连接到单相电源，控制着电机的特性，泵总是以优化速度运行，并使用户可以对泵进行远程控制。

滚轴泵利用相互交错的固定和轨道滚轴来产生非接触式新月形气泡，并通过轨道运行不断对其进行压缩。这意味着，与油密封旋转泵不同，在泵移动量中不需要密封剂或润滑剂。

特点优势

真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染

无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长

无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用

简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间

变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz

参数