复合分子泵用途：

复合分子泵由涡旋分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围。复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板可获得清洁的高真空。其应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、**、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。