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单晶炉
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单晶炉
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单晶炉是软轴提拉型晶体生长设备，在低于常压的惰性气体环境中，以石墨电阻加热器加热，将填充在石英坩埚内的多晶硅材料熔化，用直拉法生长无位错的高质量单晶设备。目前可生产 CZ160 型及以上单晶炉设备。
RLY 系列
HTRH，HTRV
管式炉
RTO蓄热式焚烧炉
驰顺TF-1200型旋转管式炉
连续式石墨化炉
HTF1200-5/20-4F-HV
TCGKD203-11/TCGKD204-11/TCGKD415-12TCGKD412-12/TCGKD410-12/T
YCVD-1706
FGL(TD)-60/17
自动进料旋转管式炉
